近日，國家市場監(jiān)督管理總局新批準了3項國家一級標準物質(zhì)——二維鉻納米柵格標準物質(zhì)、二維硅納米柵格標準物質(zhì)、一維硅納米光柵標準物質(zhì)，均由同濟大學物理科學與工程學院李同保院士、程鑫彬教授團隊研制。

據(jù)介紹，這一研發(fā)成果主要應(yīng)用于先進測試儀器的納米長度與角度同步校準，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準“標尺”。其中，二維鉻納米柵格標準物質(zhì)是我國首次建立的納米級角度國家一級標準物質(zhì)。

分步沉積原子光刻技術(shù)方案。

納米制造，測量先行。研制高精度的納米級標準物質(zhì)，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。二維鉻納米柵格標準物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。

二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm（微米）×300μm（微米），在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測量區(qū)域次數(shù)可達20000次以上�？蓱�(yīng)用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設(shè)備校準；也可應(yīng)用于對超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準。

上個月，同濟大學和德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院關(guān)于縮短溯源鏈的皮米精確度納米計量成果發(fā)表于測量領(lǐng)域國際著名期刊《測量科學與技術(shù)》（Measurement Science and Technology）。

國家標準物質(zhì)定級證書。

這次獲批的3項一級標準物質(zhì)，正用于市場監(jiān)管總局組織的首批國產(chǎn)掃描電子顯微鏡計量測試評價工作。這一成果在國內(nèi)實現(xiàn)了納米測量領(lǐng)域的扁平化計量，避免傳統(tǒng)逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準將高精度計量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計量現(xiàn)場，為我國納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。